德國IBF電子有限公司提供工業微波源,包括整機與組件。

可替各領域的客戶(包括等離子領域)的客戶需要,專門設計與生產微波源及波導元件。

微波源頻率2.45GHz、5.8GHz與915(896/922)MHz,功率從100W到100KW。

可以根據客戶需求提供各類接口的微波源。特別是在等離子領域有設計與生產脈衝微波源以及特殊波導的豐富經驗。

脈衝微波源是公司產品中的強項。

Microwave PECVD with linear plasma source: a new choice to upgrade magnetron sputtering

 

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The linear MW plasma source is able to extend its effective area up to 4m long.

The operation pressure range is wide and suitable for a lot of applications.

The operation pressure range is wide and suitable for a lot of applications.

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