HIPIMS、MF 與 Pulsed Power 技術,提供穩定高密度電漿來源。
OES 光譜分析,即時掌握電漿中物種與能量狀態。
整合製程與感測數據,連結產品品質。
PID 與回饋控制,穩定 reactive sputtering 製程。
導入 AI 與數據分析,從控制走向預測製程。