Plasma Circus
標籤:
反應式濺射鍍膜
TiN反應式濺射鍍膜過程中可用的光譜參數
5 月 22, 2024
—
作者:
Robert Jann
分類:
電漿製程監控
以下是TiN反應式濺射鍍膜過程中可參考的實際OES量測光譜: Ti I 215.2 nm發射譜線: 此光譜顯示…