標籤: TiN

TiN反應式濺射鍍膜過程中可用的光譜參數

5 月 22, 2024

—

作者:

Robert Jann

分類: 電漿製程監控

以下是TiN反應式濺射鍍膜過程中可參考的實際OES量測光譜： Ti I 215.2 nm發射譜線：此光譜顯示…