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常有人問道: 對需要精準控制的電漿(等離子)製程(工藝)中，到底要使用OES還是RGA呢?
說明如下:
- RGA能看到環境的氣體成分比例與變化，但是無法看到實際參與電漿製程(等離子工藝)的物種與變化，OES卻可以。這是最大的差異。
- 其次，RGA的反應遲緩，OES可以快速反應。 因此，RGA對於製程(工藝)上出了狀況是很難追蹤與了解實際電漿製程(等離子工藝)的變化。只有使用OES才有機會知道製程(工藝)中真實發生的情形，進而可以找到解決之道。
- RGA可以當做OES的輔助，兩者相輔相成。
結論: OES掌握製程(工藝)的穩定性，RGA去處理整體環境的穩定性。
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常有人问道: 对需要精准控制的电浆(等离子)制程(工艺)中，到底要使用OES还是RGA呢?
说明如下:
- RGA能看到环境的气体成分比例与变化，但是无法看到实际参与电浆制程(等离子工艺)的物种与变化，OES却可以。这是最大的差异。
- 其次，RGA的反应迟缓，OES可以快速反应。 因此，RGA对于制程(工艺)上出了状况是很难追踪与了解实际电浆制程(等离子工艺)的变化。只有使用OES才有机会知道制程(工艺)中真实发生的情形，进而可以找到解决之道。
- RGA可以当做OES的辅助，两者相辅相成。
结论: OES掌握制程(工艺)的稳定性，RGA去处理整体环境的稳定性。
