Lab值是國際照明委員會（CIE）定義的一種色彩空間，用於表示顏色的亮度、色度和飽和度。在反應式電漿磁控濺射鍍膜形成TiN薄膜時，Lab值可以反映薄膜的顏色。
Lab值的三個分量分別為：
● L：亮度，表示顏色的明暗程度，取值範圍為0（黑色）至100（白色）。
● a：綠-紅分量，表示顏色的綠色或紅色程度，正值表示紅色，負值表示綠色。
● b：藍-黃分量，表示顏色的藍色或黃色程度，正值表示黃色，負值表示藍色。
在TiN薄膜中，Lab值的變化主要取決於以下製程控制參數：
● 反應氣體的流量比例：反應氣體的流量比例會影響薄膜中Ti和N元素的比例，從而影響薄膜的顏色。例如，如果Ti流量過高，薄膜會呈現黃色；如果N流量過高，薄膜會呈現藍色。
● 基板溫度：基板溫度會影響薄膜的晶體結構和形態，從而影響薄膜的顏色。例如，基板溫度越高，薄膜的晶體結構越趨於完美，顏色越接近白色。
● 濺射功率：濺射功率會影響薄膜的厚度和密度，從而影響薄膜的顏色。例如，濺射功率越高，薄膜越厚，顏色越深。
如何透過製程控制的參數來達到Lab有穩定值的表現
為了使TiN合金薄膜的Lab值每批次的生產都要相同，至少Lab值的誤差必須維持在2%以內，可以透過以下方式來控制製程參數：
● 使用流量控制器精確控制反應氣體的流量：可以使用流量控制器精確控制反應氣體的流量，以確保薄膜中Ti和N元素的比例穩定。
● 使用溫度控制器精確控制基板溫度：可以使用溫度控制器精確控制基板溫度，以確保薄膜的晶體結構和形態穩定。
● 使用功率控制器精確控制濺射功率：可以使用功率控制器精確控制濺射功率，以確保薄膜的厚度和密度穩定。
此外，還可以使用以下方法來進一步提高Lab值的穩定性：
● 使用光譜儀監控電漿中的原子、分子和離子濃度：可以使用光譜儀監控電漿中的原子、分子和離子濃度，以確保反應過程的穩定性。
● 使用薄膜厚度儀監控薄膜厚度：可以使用薄膜厚度儀監控薄膜厚度，以確保薄膜厚度的一致性。
通過以上措施，可以有效地控制TiN合金薄膜的Lab值，使其在不同批次之間保持穩定。
以下是一些具體的實施建議：
● 建立一個詳細的製程控制規範，明確規定每一個製程參數的設定值和允許偏差範圍。
● 定期對製程設備進行校準和維護，以確保其性能穩定。
● 對每批次生產的薄膜進行Lab值測試，並記錄結果。
● 分析Lab值測試結果，找出影響Lab值穩定性的因素，並採取相應的措施進行改進。
通過不斷地改進製程控制，可以進一步提高TiN合金薄膜的Lab值穩定性，使其更加符合生產要求。
