EMICON是由兩個英文字組成的，分別是EMISSION(放射)與CONTROL(控制)。
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電漿的形成在於原子或分子上的電子受到外來電場游離，再誘發二次電子撞擊更多的原子與分子產生更多的游離態原子與分子，只要外來電場持續供應且環境維持穩定，電漿就能繼續存在。當不同原子與分子上的電子在高低能階之間跳躍，會釋放與吸收各種特定的能量，釋放的能量可用光的波長形式來詮釋，故同一原子或分子內不同能階軌域的電子產生的跳躍，會同時以不同波長的光把能量釋放出來。分析電漿釋放出來的光譜可以得知參與製程反應的電漿物種，進而找出控制反應機制的主要參數。因此，如何控制與觀察電漿的運動與作用就成為一項艱深的學問。
為了研究存在電漿中的各種不同帶電離子與分子的成分與分布，在不影響電漿反應機制的條件下，還能採用回綬控制的方式來穩定製程，光學偵測法是不接觸電漿也不影響電漿作用的唯一選擇，其中能夠完全表現電漿特性的就是採用分光光譜學的量測技術加上特殊設計的回綬控制機制來達到分析電漿物種與穩定製程的雙重目的。其中以OES (Optical Emission Spectroscopy)光放射光譜學的技術最為成熟。為了達到回綬控制的目的，電漿放射出來的光線經由一個準直鏡光學鏡頭焦聚到石英光纖，傳送到分光儀把電漿的光線用光柵分光到一個陣列式的光偶合感測器(Arrayed CCD)，每一個感測器上的獨立感測單元代表一個分光後的特定波長，整個陣列分佈把光的資訊轉化成有用的電壓資訊，電腦透過USB電纜取得這一瞬間電漿光線轉化成陣列對應電壓的光譜資訊，再由軟體針對選定的特殊譜線資料做進一步的PID回綬控制。
下圖為EMICON回綬控制的示意圖
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EMICON是由两个英文字组成的，分别是EMISSION(放射)与CONTROL(控制)。
等离子体的形成在于原子或分子里的电子在外加电场下电离，再诱发二次电子撞击更多的原子与分子产生更多的电离态原子与分子。只要外加电场持续供应且环境保持稳定，等离子体就能继续存在。当不同原子与分子上的电子在高低能阶之间跳跃，会释放与吸收各种特定的能量，释放的能量可用光的波长形式来诠释，故同一原子或分子内不同能阶轨域的电子产生的跳跃，会同时以不同波长的光把能量释放出来。分析电浆释放出来的光谱可以得知参与制程反应的电浆物种，进而找出控制反应机制的主要参数。因此，如何控制与观察电浆的运动与作用就成为一项艰深的学问。
为了研究存在电浆中的各种不同带电离子与分子的成分与分布，在不影响电浆反应机制的条件下，还能采用回绶控制的方式来稳定制程，光学侦测法是不接触电浆也不影响电浆作用的唯一选择，其中能够完全表现电浆特性的就是采用分光光谱学的量测技术加上特殊设计的回绶控制机制来达到分析电浆物种与稳定制程的双重目的。其中以OES (Optical Emission Spectroscopy)光放射光谱学的技术最为成熟。为了达到回绶控制的目的，电浆放射出来的光线经由一个准直镜光学镜头焦聚到石英光纤，传送到分光仪把电浆的光线用光栅分光到一个数组式的光偶合传感器(Arrayed CCD)，每一个传感器上的独立感测单元代表一个分光后的特定波长，整个数组分布把光的信息转化成有用的电压信息，计算机透过USB电缆取得这一瞬间电浆光线转化成数组对应电压的光谱信息，再由软件针对选定的特殊谱线数据做进一步的PID回绶控制。
下图为EMICON回绶控制的示意图
