分類: EMICON accessories
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What is the purpose of using remote LAN control via EMICON RC DLL? (使用LAN遠端控制的目的)
主要目的是從中央控制室(很遠處，在無塵室外頭)要掌握生產線上使用的每一個EMICON工作站(個別IP)的狀況，…
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Good coating protection by a honey comb protection device in front of a quartz collimator lens (PECVD process)
On a PECVD process to coat SiO2 layer with SiH4 precurs…