標籤: closed loop control

新一代的OES (EMICON)在等离子工艺应用上的重要性

12 月 19, 2011

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作者:

Robert Jann

分類: Closed Loop PID Control For Reactive Sputtering Applications

回顾等离子工艺使用OES (Optical Emission Spectroscopy)的历史，早在1980年…