Closed Loop PID Control For Reactive Sputtering Applications / Magetron Sputtering Sources / Pulsed Power Supply - MF & HIPIMS

反应式等离子溅射镀膜工艺的三宝

进行等离子溅射镀膜工艺时，有三项宝物是不可或缺的。 ...

19 12 月, 2011