作者: Robert Jann
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另外一個迷思: PEM的閉鎖迴路控制要用MFC或是PZT valve
繁體版 這是個在使用PEM閉鎖迴路控制時，經常遇到的問題: 到底要用MFC (Mass Flow Contro…
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使用PEM在成膜均勻性與均質性的迷思
繁體版 經常有人認為在真空電漿濺鍍系統上安裝了PEM (Plasma Emission Monitor)或是E…
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EMICON System的工作原理介紹
EMICON是由兩個英文字組成的，分別是EMISSION(放射)與CONTROL(控制)。 繁體版 電漿的形成…
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Improvement of the response time for a fast PID closed loop control
From time to time, there exists a critical issue to han…
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如何應用OES tool與RGA tool
繁體版 常有人問道: 對需要精準控制的電漿(等離子)製程(工藝)中，到底要使用OES還是RGA呢? 說明如下:…
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Plasma Emission Monitor (PEM)的分類
繁體版 Plasma Emission Monitor (PEM)有兩大主流: (a) lens filter…
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How long to clean the protection device of collimator
繁體版 準直鏡頭上的蜂巢式防鍍裝置(honey comb protection device)，不是filte…
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Advanced EMICON (Emission Controller) system vs. traditional PEM (Plasma Emission Controller) system
A traditional PEM (Plasma Emission Monitor) system in c…